مقاله

طراحی، شبیه سازی و ساخت سوئیچ خازنی rf memsبر روی بستر آلومینا

سعید دل آرام فریمانی، s. delaram farimani حسن حاج قاسم، h. hajghasem علیرضا عرفانیان، a. r. erfanian مجیدرضا علی احمدی، m. r. aliahmad

چکیده

در این مقاله طراحی، شبیه­سازی و ساخت یک سوئیچ خازنی rf mems موازی کم تلف بروی موجبر هم­صفحه و بستر عایق آلومینا، در باند فرکانس ghz 60-40 ارائه شده است. مکانیزم تحریک این سوئیچ بصورت الکترواستاتیکی است. ابتدا موجبر هم­صفحه برای داشتن امپدانس مشخصه ω50 بروی بستر عایق آلومینا طراحی شده، سپس سوئیچ مورد نظر طراحی و پس از انتخاب ابعاد آن، پارامترهای مهم آن توسط شبیه­سازی المان محدود و موجی کامل با نرم افزارهای coventorware و hfss بدست آمده است. در این مقاله نشان داده شده که سوئیچ طراحی شده دارای عملکرد مناسبی در این باند فرکانسی است، بطوریکه ولتاژ پایین کشنده v25/19، تلفات داخلی db8/0، تلفات بازگشتی بیشتر از db8/9 و مقدار ایزولاسیون نیز db50 حاصل شده است. با توجه به ابعاد طراحی شده، نمونه آزمایشگاهی سوئیچ بروی بستر آلومینا ساخته شده که بر اساس اندازه­گیری­های صورت گرفته، مقدار تلفات داخلی db5/2 و تلفات بازگشتی بیشتر از db10 حاصل شده است.

اسناد مشابه