اثر کاتالیستهای لایه نازک بر روی رشد و هسته بندی نانوتیوب های کربنی و بررسی رفتار الکتریکی آنها
چکیده
در این تحقیق نویسنده موفق به رشد و بررسی اثر پارامترهای مختلف بر روی ساختار نانوتیوب های کربنی به روش نشست بخار شیمیایی پلاسمائی pecvd شده است. سیستم مورد استفاده در این روش یک سیستم cvd است که یک سیستم پلاسمای dc و سیستم گرمایی طراحی و به آن اضافه شده است تا سیستم pecvd مورد نظر حاصل شود. از گازهای اتیلن و استیلن به عنوان منبع تامین کربن برای رشد نانوتیوب ها و مخلوطی از گازهای هیدروژن و نیتروژن به عنوان رقیق کننده استفاده شده است. نانوتیوبهای کربنی برای رشد و هسته بندی به جزایر نانومتری کاتالیست به عنوان مراکز هسته بندی نیاز دارند که این مراکز هسته بندی با عملیات حرارتی و زدایش پلاسمائی بر روی لایه نازک کاتالیست بدست می آیند.