طیف نگاری حالت گذرای ترازهای عمیق (طراحی و ساخت سیستم ظرفیت سنج dlts)
چکیده
در این پایان نامه یک ظرفیت سنج حساس برای سیستم dlts طراحی و ساخته شده است . تکنیک طیف نگاری حالت گذرای ترازهای عمیق جهت تعیین مشخصات تله های درون نیمه هادی بر مبنای استفاده از خازن گذرای ناحیه تخلیه پایه گذاری شده است . این تکنیک بسیار سریع و حساس است و همچنین استخراج نتایج آن ضمن داشتن دقت بسیار بالا نسبت به سایر روشهای موجود ساده تر نیز می باشد. یکی از قسمت های اساسی این سیستم، یک دستگاه ظرفیت سنج می باشد که از ویژگیهای آن می توان به دقت و سرعت پاسخ نسبتا زیاد آن اشاره نمود. سیستم ظرفیت سنج قادر است ظرفیت نمونه تحت آزمایش را در یک محدوده وسیع از یک تا صد پیکوفاراد و تغییرات دیفرانسیلی آن را که می تواند از یک تا هزار فمتوفاراد باشد اندازه گیری نماید و دقت آن را در حد یک دهم درصد است