ساخت حسگر گازی اکسید-فلز sno2 با ناخالصی f به منظور آشکارسازی گاز h2
چکیده
لایه های نازک اکسید قلع با ناخالصی فلوئور به روش اسپری پایرولیزیز جایگذاری شدند. نمونه ها با پارامترهایی نظیر: نسبت وزنی مختلف، دمای جایگذاری مختلف، مولاریته محلول مختلف تهیه شدند.برای مورد اول، نسبت وزنی فلوئور به قلع(f/sn) با گام های 0/05 از 0 تا 0/3 تغییر نمود. برای موارد بعدی نمونه با نسبت وزنی 0/05: f/sn در سه دمای متفاوت و سه مولاریته متفاوت جایگذاری شد طیف پراش پرتو x برای4 نمونهبا نسبت وزنی 0/3 ،0/25 ،0/05 ،0 : f/sn گرفته شد. برسی طیفxrd، ساختار تتراگونال (فاز کسیترایت) را برای این نمونه ها نشان داده است. تصویربرداری sem برای نمونه با نسبت وزنی 0/05: f/sn انجام شد. از برسی تصویر sem، اندازه دانه ها برای این نمونه در حدnm 100-70 تخمین زده شد.از اندازه گیری مقاومت سطحی نمونه ها مشخص گردید که به استثنای نمونه 0/05: f/sn، با افزایش غلظت ناخالصی فلوئور مقاومت الکتریکی نیز روندی کاهشی دارد. برسی اثر حسگری لایه ها نشان داد که از بین تمام نمونه ها، نمونه 0/05: f/sn و دمای جایگذاری 470 و مولاریته محلول m 0.05,بهترین حساسیت را نسبت به ppm 2000 گاز هیدروژن دارد.