پایان‌نامه

اندازه گیری ضخامت لایه های نازک با استفاده از پراش فرنل

ایمان معدل حقیقی

دانلود متن کاملرایگان، با حساب کاربری؛ ثبت نام با گوگل چند ثانیه است

چکیده

ضخامت لایه های نازک از جمله مهمترین پارامترهای مرتبط با لایه های نازک است ،چراکه تقریباً تمامی خواص آنها را می توان با دانستن ضخامت ، بدست آورد.روشهای اپتیکی و غیر اپتیکی بسیاری برای اندازه گیری ضخامت ابداع شده و مورد استفاده قرار می گیرند.در این تحقیق روش اندازه گیری ضخامت با استفاده از پراش فرنل در بازتاب مورد بررسی قرار گرفته است.نشان داده شده که استفاده از رفتار نمایانی فریزهای حاصل از پراش از یک لایه نازک که به شکل پله ایجاد شده ،ما را قادر می سازد تا با دقت چند نانومتر مستقیماٌ ضخامت لایه را بدست آوریم.دراین مطالعه از دوطول موج 532 و633 نانومتر به عنوان منبع نوری استفاده شد و با استفاده از آنها تعدادی از لایه های نازک فلزی پله ای شکل را که ضخامت آنها بین 30 تا 500 نانومتر بود را مورد مطالعه قرار دادیم.نتایج حاصل در هر دو طول موج از همخوانی بسیار خوبی برخوردار بودو برای حصول اطمینان این نتایج را با نتایج بدست آمده از یک روش دیگر مقایسه نمودیم که این بار نیز نتایج دو روش همپوشانی مطلوبی دارند.با توجه به نتایج این تحقیق به نظر می رسد که استفاده از پراش فرنل برای اندازه گیری ضخامت لایه های نازک به دلایلی نظیر آسان بودن،دقیق بودن ، کارآمدی در گستره وسیعی از ضخامتها(از چند نانومتر تا چند صد نانومتر)و... قابلیت کاربرد گسترده در صنعت لایه های نازک را دارد.

اساتید راهنما و مشاور

محمدتقی توسلی

پایان‌نامه‌های مشابه

اسناد مشابه

  • حساسیت طیفی بالا به روش حسگری چندمدی در حسگر تشدید پلاسمون سطحی و استفاده از آن جهت اندازه گیری ضخامت لایه جاذب با ضریب شکست مشخص

    مقالهپژوهش فیزیک ایرانحکیمه محمدحسینی، h mohammadhosseini department of physics, iran university of science and technology, tehran,iran. دانشکده فیزیک، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران امیرحسین احمدخان کردبچه، a ahmadkhan kordbacheh department of physics, iran university of science and technology, tehran,iran. دانشکده فیزیک، دانشگاه علم و صنعت ایران، تهران مجید قناعت شعار، m ghanaatshoar laser and plasma research institute, shahid beheshti university, tehran, iran. پژوهشکده لیزر و پلاسما، دانشگاه شهید بهشتی، تهران

    در این مقاله حسگر تشدید پلاسمون سطحی را با در نظر گرفتن دو فلز، یک بار فلز طلا و در حالت بعدی فلز نقره مطالعه کرده و با استفاده از روش حسگری چند مدی امکان دسترسی به حساسیت طیفی بالا را در آنها مورد بررسی قرار می دهیم. نشان می دهیم که حساسیت طیفی قابل توجه حسگر تشدید پلاسمون سطحی،

  • اندازه گیری ضخامت و زبری لایه های نانومتری با استفاده از نمودار شدت فریزهای تداخلی

    مقالهپژوهش فیزیک ایرانامیر سبزعلی پور، a sabzalipour university of tehranدانشگاه تهران محمدرضا محمدی زاده، mh mohammadizadeh university of tehranدانشگاه تهران

    بر اساس روش متعارف تداخل نوری، با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی، ضخامت لایه نازک به دست می آید. جهت افزایش دقت در سنجش ضخامت های کم و کاهش خطاهای اندازه گیری، نمودار شدت فریزها قبل و بعد از فرآیند ایجاد پله، رسم می شود. با اندازه گیری میزان جابه جایی فریزهای تداخلی،

  • اندازه گیری همدوسی فضایی با استفاده از تبدیل فوریه شدت فریزهای پراش از پله یک بعدی در بازتاب

    مقاله۲۰۲۰پژوهش فیزیک ایرانرسول عالی پور، محمدتقی توسلی

    در این مقاله روشی جدید برای اندازه گیری همدوسی فضایی باریکه های نوری با استفاده از نقش پراش فرنل تشکیل شده از پله یک بعدی در بازتاب ارائه می شود. تابع همدوسی فضایی از نسبت دامنه تبدیل فوریه توزیع شدت پراش باریکه نور چشمه دلخواه از پله به دامنه تبدیل فوریه توزیع شدت پراش باریکه نو

  • اندازه گیری ضخامت عضلات شکمی با استفاده از سونوگرافی: مطالعه تکرارپذیری در بیماران مبتلا به کمردرد مزمن غیراختصاصی

    مقالهمجله دانشگاه علوم پزشکی مازندرانجواد خادمی، javad khademi phd student in physiotherapy, university of social welfare and rehabilitation sciences, tehran, iran - lecturer, department of public health, faculty of health, golestan university of medical sciences, gorgan, iranدانشجوی دکترای تخصصی فیزیوتراپی، دانشگاه علوم بهزیستی وتوانبخشی، تهران، ایران - مربی، گروه بهداشت عمومی، دانشکده بهداشت، دانشگاه علوم پزشکی گلستان، گرگان، ایران محمد علی محسنی، mohammad ali mohseni bandpei professor, pediatric neurorehabilitation research center, department of physiotherapy, university of social welfare and rehabilitation sciences, tehran, iran -visiting professor, university institute of physical therapy, faculty of allied health, university of lahore, lahore, pakistanتهران: اوین، خیابان کودکیار، دانشگاه علوم بهزیستی و توانبخشی ایرج عبدالهی، iraj abdollahi assistant professor, department of physiotherapy, university of social welfare and rehabilitation sciences, tehran, iranاستادیار، گروه فیزیوتراپی، دانشگاه علوم بهزیستی وتوانبخشی، تهران، ایران امیر مسعود عرب

    سابقه و هدف: هدف ازمطالعه حاضر ارزیابی تکرارپذیری درون روز(within-day) و بین روز((between-day ضخامت عضلات شکمی در بیماران کمردرد مزمن غیراختصاصی در دو وضعیت استراحت و انقباض با استفاده از سونوگرافی می باشد. مواد و روش ها: درمطالعه تجربی حاضر، ۱۵ بیمار داوطلب مبتلا به کمردرد مزمن

  • بررسی اعتبار سونو گرافی ترانس واژینال در اندازه گیری ضخامت آندومتر

    مقالهمجله دانشگاه علوم پزشکی زنجانفریده موحد، f movahed امیر جوادی، a javadi حمیده غلامی، h gholami ابوالقاسم ناجی تهرانی

    چکیده زمینه و هدف: سونوگرافی ترانس واژینال روشی غیر تهاجمی برای تعیین ضخامت آندومتر در موارد خون ریزی غیر طبیعی رحمی است. این روش می تواند در انتخاب بیماران جهت انجام تست های تشخیصی کمک کند. این پژوهش با هدف تعیین اعتبار سونوگرافی ترانس واژینال در اندازه گیری ضخامت آندومتر انجام

  • مقایسه دو روش اندازه گیری ضخامت قرنیه با دستگاه ارب اسکن (orbscan) و اولتراسوند (ultrasound) در بیماران مراجعه کننده به کلینیک چشم پزشکی آبان اصفهان

    مقالهمجله دانشگاه علوم پزشکی شهرکردکبری نصرالهی، kobra nasrolahi اصفهان-میدان قدس- بیمارستان فیض-دفتر گروه چشم سید محمد قریشی، smohamad ghoryshi assistant professor, ophthalmology dept., isfahan univ. of med. sci

    زمینه و هدف: با افزایش جراحی های لیزری در اصلاح عیوب انکساری و اهمیت اندازه گیری ضخامت قرنیه قبل از انجام اعمال جراحی اصلاح عیوب انکساری چشم، تعیین دقیق ضخامت قرنیه در انجام این روشها دارای اهمیت می باشد. اندازه گیری ضخامت قرنیه (pachymetry) به دو روشoptical با استفاده از دستگاه