اندازه گیری ناهمواری سطح یک فیلم پلیمر به روش آماری
چکیده
اندازه گیری دقیق ناهمواری سطح دارای اهمیت اساسی بخصوص در مهندسی دقیق و صنایع کارخانه ای برخوردار است. ناهمواری سطح معمولاً بوسیله پروفایل سنجهای سوزنی مکانیکی انجام می شود. در هر حال روش کم دردسر اندازه گیری ناهمواری سطح با استفاده از سوزنهای مکانیکی می تواند سبب تغییر شکل یا آسیب روی سطح نمونه شود و از نظر عقلانی یک روش اندازه گیری زمانبر است. روشهای غیر تماسی، مثل انواع اپتیکی این مزیت را دارند که می توانند برای اندازه گیری فرایند ناهمواری سطح استفاده بشوند. در این پایان نامه نتایج اندازه گیری ناهمواری سطح با استفاده از تکنیک همبستگی لکه ای برای یک سطح آلومینیومی و روش تباین روی یک فیلم پلیمری گزارش می شود.