بهینه سازی لایه های نازک mgf2 alو ag با استفاده از امواج حاصل از تابش لیزر اگزایمر
چکیده
در این پایان نامه، لایه های نازک mgf2 بر روی زیر لایه bk7 و لایه های نازک al و ag بر روی لام میکروسکوپی توسط روش تبخیر در خلأ با استفاده از باریکه الکترونی لایه نشانی شدند. سپس به منظور بهبود خواص فیزیکی نمونه های تهیه شده از روش (lsp) laser shock peening بر روی آن ها توسط لیزر اگزایمر آرگون فلوراید با طول موج 193 نانومتر، انرژی mj 110 و بسامد hz1 با پالس های مختلف استفاده شد. روش lsp روشی است که در آن با استفاده از امواج حاصل از تابش لیزر می توان سطح مواد را بهبود داد. اثر روش lsp بر روی خاصیت عبوری لایه نازک mgf2 و خاصیت بازتابی لایه های نازک al و ag توسط طیف سنجی uv-vis-ir در محدوده ی طول موجی 1200-400 نانومتر انجام پذیرفت. برای بررسی اثر روش lsp بر روی شکل و اندازه ی دانه های لایه های نازک، از سطح آن ها قبل و بعد از اعمال روش lsp تصویر sem گرفته شد. همچنین ساختار بلوری لایه های نازک al و ag قبل و بعد از اعمال روش lsp با استفاده از آنالیز xrd بررسی شد و فاصله بین صفحات بلوری و ثابت شبکه لایه ها اندازه گیری شد. برای بررسی اثر روش lsp بر روی آستانه تخریب لایه های نازک mgf2، آن ها تحت آزمون آستانه تخریب قرار گرفتند. افزایش عبوردهی اپتیکی در لایه های نازک mgf2 و افزایش خاصیت ضد بازتابی در لایه های نازک al و ag، کاهش فاصله شبکه ای در لایه های نازک al و ag و کاهش اندازه دانه ها در لایه های نازک mgf2، al و ag و افزایش آستانه تخریب در لایه نازک mgf2 همگی نشان دهنده ی بهبود لایه های نازک بعد از اعمال روش lsp هستند.