طراحی ساختاری و آماده سازی قطعات دستگاه لایه نشانی lpcvd جهت لایه نشانی پلی سیلیکون
چکیده
در این پروژه طراحی نیمه صنعتی و شبیه سازی یک دستگاه لایه نشانی بخار شیمیائی در خلأ (lpcvd) به منظور لایه نشانی پلی سیلیکون انجام شده است. در این راستا اتصال فلنج استیل به لوله کوارتز طراحی شده و برای ساخت آماده شده است. اتصالات کپسول سایلین که از لحاظ امنیتی از اهمیت بسیاری برخوردار است، شناسائی و طراحی شده است (به علت عدم امکان ساخت این اتصالات در وضعیت کنونی خریداری آنها پیشنهاد شده است)؛ کنترلر شار گاز (mass flow controller) بررسی گردیده و طراحی آن انجام شده است (به علت سطح و پیچیدگی کار، ساخت این قطعه توسط گروهی از دانشجویان دنبال می گردد). با بدست آوردن ابعاد کوره، بررسی جهت تهیه و یا طراحی سیستم گرم کننده و کنترل دمائی انجام شده است. دستگاه lpcvd مورد نظر برای لایه نشانی روی ویفر 2 اینچ و برای تعداد حداکثر 10 ویفر در نظر گرفته شده و شبیه سازی جهت بدست آوردن نحوه بهینه ی تزریق گاز و پمپ خلأ مناسب انجام شده است تا بتوان لایه هایی یکنواخت را بر روی ویفرها به وجود آورد. در این راستا فاصله ی بین ویفرها و فاصله ی آنها از کناره ها و از انتها و ابتدای لوله ی کوارتز بدست آمده است. همچنین شبیه سازی با تغییر محل ورود گاز و تغییر اندازه لوله کوارتز تکرار شده است تا ساختار مناسب برای محفظه بدست آید. شرایط و نحوه و یا بقولی الگوریتم لایه نشانی ارائه شده است و نحوه ی تله انداختن سایلین اضافی بررسی و وسائل جانبی آن بدین منظور طراحی شده اند. تمامی اجزا یک به یک تهیه یا طراحی شده و آماده ی ساخت دستگاه نهائی می باشند و صرفا کنترلر شار گاز باقی مانده است که توسط گروه دیگری از دانشجویان در حال پیگیری می باشد.