مقایسه عملکرد حسگرهای گازی نانوساختار و حسگرهای لایه نازک اکسید فلزی
چکیده
این پایان نامه مشتمل بر پنج فصل است که در فصل اول خواننده با نانوساختارهای یک بعدی و دسته بندی آن ها و روش سنتز آن ها آشنا می شود. در فصل دوم برای آشنایی خواننده، انواع حسگرهای گازی و پارامترهای حسگری آورده شده است. در فصل سوم حسگرهای گازی اکسید-فلز مورد بررسی قرار گرفته است و دسته بندی شده اند و در این فصل به مروری بر مقالات مربوط به حسگرهای گازی اکسید-فلز منتشر شده از سال 2002 تا کنون پرداخته شده است. با توجه به هدف این پروژه در استفاده از روش های نیمه صنعتی و ارزان قیمت جهت سنتز نمونه-ها، تاکید اصلی فصل چهارم بر سنتز نانوسیم های اکسید قلع به روش cvd است. در این فصل به بررسی پارامترهای اساسی در سنتز نانوسیم های اکسید قلع در روش cvd و رشد کنترل شده ی این ساختارها پرداخته شده است و نتایج حاصل از سنتز نمونه ها به همراه مطالعات ساختاری آن ها در این فصل آورده شده است. برای نیل به این هدف ما به طراحی و ساخت سیستم cvd پرداختیم که شامل ساخت کوره ی دوناحیه ای تحت خلا و سیستم گازرسانی می باشد.