طراحی و ساخت منبع تبخیر الکترونی
چکیده
در این پایان نامه گزارشی از مراحل مختلف طراحی، ساخت و بالیدن یک سامانه برای تبخیر مواد و لایه نشانی در خلأ ارائه می شود. هدف پایان نامه استفاده از بمباران الکترونی به جای روش های مقاومتی برای تبخیر مواد دیرگداز که باعث واکنش با مواد مختلف، تبخیر مواد ترکیبی (غیر خالص) و در نتیجه آلودگی لایه های نشانده می شدند، بوده است. این سامانه از سه بخش مهم منبع الکترونی، منبع تغذیه ولتاژ بالا برای شتاب دادن به الکترون ها و خلأ تشکیل شده است که مشروح تلاش های انجام شده در هر یک از این سه بخش در این پایان نامه گزارش می گردد. منبع الکترونی با استفاده از نتایج محاسبات انجام شده توسط کد محاسباتی ebslite .2 طراحی شده است. همچنین یک تفنگ الکترونی با استفاده از نتایج شبیه سازی شده توسط نرم افزار سالیدورک طراحی و ساخته شد. این تفنگ الکترونی شامل کاتد، آند و الکترود متمرکز کننده پیرس است که امکان هدایت و کنترل مطلوب جریان الکترونی تولید شده توسط کاتد را دارد. برای فیلامان این تفنگ از فلز تنگستن v- شکل به قطر mm3/. و طول mm30 استفاده شده که با اعمال ولتاژ شتاب دهنده kv 8/2 جریان گسیل 15 تولید می کند. منبع تغذیه ولتاژ بالا که در این پایان نامه استفاده شده است یک ترانسفورماتور خشک kv20 با جریان ma400 می باشد. نتایج نشان می دهد که تفنگ ساخته شده قابلیت استفاده در سیستم های لایه نشانی را دارد، و از آن جهت لایه نشانی آلومینیوم بر روی شیشه استفاده شد.