مدل سازی خطا و آنالیز دقت شتاب سنج میکروالکترومکانیکی mems
چکیده
در این پایان نامه خطاهای یک شتاب سنج mems مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی شده اند. مدل پیشنهاد شده برای خطاهای سیستمی شتاب سنج شامل بایاس، ضریب مقیاس و ناهم محوری می باشد. تست های مناسبی برای دست یابی به پارامترهای مدل فوق طراحی و پیاده سازی شده است. همچنین تأثیر دما بر پارامترهای ذکر شده مورد بررسی قرار گرفته و مدل سازی خطاهای تصادفی با استفاده از تکنیک واریانس آلن صورت پذیرفته است.