بررسی خواص الکتریکی قطعات ساخته شده از نانو ساختار کلروایندیوم فتالوسیانین(clinpc)و استفاده از آن به عنوان حسگر گاز cox
چکیده
در این کار نمونه های سیلیسیوم متخلخل از سونش الکتروشیمیایی ویفر سیلیسیوم نوع p با ساختار تک بلوری با جهت (100) به قطرcm ?/0 ± ?? و مقاومت ویژه ?.cm ?/?ـ?/?، در محلول الکترولیت برمبنای اسید هیدروفلوریک تهیه شده اند. نمونه های متخلخل تحت شرایط آندی سازی مختلف از جمله زمان آندی سازی و غلظت hf بدست آمدند. خواص الکتریکی dc قطعات ساندویچی ساخته شده از سیلیکان متخلخل(ps) که با نانو لایه های کلروایندیوم فتالوسیانین و الکترودهای آلومینیوم لایه نشانی شدند در بازه ولتا‍ژ و دمای به ترتیب 0-7 میلی ولت و 303-373 کلوین بررسی شدند. تاثیر تخلخل بر رسانایی نمونه ها با محاسبه ی انرژی فعال سازی و همچنین تاثیر دما بر رسانایی نمونه ها نیز مورد بررسی قرار گرفتند. برای بررسی ساختار نمونه ها به روش sem از سطح نمونه ها تصویر تهیه کرده و قطر حفره ها مشخص شد. با توجه به قطر حفره ها، نمونه ها مزومتخلخل و ساختار آنها نانو است.