بررسی خواص اپتیکی نانو لایه دی اکسید تیتانیوم تولید شده به روش اسپاترینگ
چکیده
در این پایان نامه ما با استفاده از یک پلیت تیتانیوم به عنوان هدف فلزی برای استفاده در روش لایه نشانی dc اسپاترینگ و با استفاده از از ترکیبی از گازهای آرگون و اکسیژن به ترتیب به عنوان گازهای اسپاترینگ و واکنشی با فشار های خاصی موفق به تولید نانو لایه دی اکسید تیتانیوم شدیم. سپس لایه های تولید شده را در دماهای خاصی بازپخت دادیم. با استفاده از روش های پراش پرتو ایکس و میکروسکوپ sem خواص ساختاری نمونه های اولیه و بازپخت شده مورد بررسی قرار گرفت و همچنین با استفاده از طیف های عبور، بازتاب و جذب بدست آمده توسط uv خواص اپتیکی نمونه ها همچون ضریب شکست، ضریب جذب، ضریب خاموشی و ... بررسی شدند.