طراحی و ساخت احساسگرهای ترموکوپلی مینیاتوری لایه نازک
چکیده
در این پروژه طراحی، ساخت و اندازه گیری بر روی برخی از احساسگرهای مینیاتوری که در فن آوری لایه های نازک و میکروالکترونیک قابل ساخت می باشند، صورت گرفته است . از جمله احساسگرهای ترموکوپلی ساخته شده در این پروژه، احساسگرهایی چون شارسنج(جریان گاز) و خلاءسنج بوده است .