تحلیل رفتار دینامیکی نانو تشدیدگر الکترومکانیکی با استفاده ازتئوری الاستیسیته غیر محلی
چکیده
با گسترش نانوفناوری، کاربرد nems/ mems روزبهروز افزایش یافته است. این سیستمها در حسگرها، تشدیدگرها، فیلترها و... بهصورت گسترده مورد استفاده قرار میگیرد. در نانو تشدیدگرها با افزایش ولتاژ بین دو الکترود، نیروی اعمالی افزایش یافته و باعث چسبش ناگهانی الکترود متحرک به الکترود ثابت میگردد. ماهیت غیر خطی نیروی اعمالی بین دو الکترود، باعث وقوع پدیدههای غیر خطی شده و حل این سیستم را با چالش روبهرو کرده است. در تحلیل رفتار دینامیکی این سیستمها سوال مهم این است که آیا معادلات کلاسیک حاکم بر رفتار استاتیکی و دینامیکی تیرها در ضخامتهای حدود چند میکرونانو دارای اعتبار است؟ نتایج تجربی نشان داده است که رفتار میکرونانوتیرها در ضخامتهای بسیار کوچک با معادلات کلاسیک قابل بیان نیست