ساخت میکروسکوپ تداخلی میرائو و تحلیل طرح تداخلی آن با به کارگیری انواع روش های تغییر فاز
چکیده
در این پژوهش با استفاده از تداخل سنج میکروسکوپی میرائو، نوعی میکروسکوپ تداخلی چیده و ساخته شد که از آن برای بررسی شکل و ابعاد ناهمگنی سطحی استفاده شد. از جمله اندازه گیری های انجام شده توسط این میکروسکوپ، ارتفاع دیواره ی صد نانومتری بود. همچنین از این میکروسکوپ برای اندازه گیری زاویه ی تماس قطره ی آب با حجم کسری از نانولیتر، روی سطح شیشه ی سودا-لایم استفاده شد. برای تحلیل فریزهای تداخلی ناشی از سطوح از روش تغییر فاز استفاده شد و به منظور ایجاد تغییر فاز سه روش مختلف که بر پایه ی تغییر ضریب شکست، تغییر راه نوری و تغییر طول موج استوار بود، پیشنهاد شد.