طراحی و شبیه سازی میکروسوییچ های میکروماشینی
Abstract(in Persian; no English abstract is available)
دو نوع سوییچ میکروماشینی جدید با ولتاژ تحریک و استرس پائین در این پایان نامه طراحی و ارائه شده است.ساختار اول، از نوع سوئیچ های خازنی است.ساختار دوم از نوع میکروسوئیچ های چرخشی است.