طراحی شتاب سنج mems
چکیده
طراحی شتاب سنج بر مبنای فناوری میکروماشینکاری موضوع این پایان نامه می باشد.از میان انواع مبدلهای موجود دراین مقیاس از نوع خازنی آن بهره برده شده است.جنس شتاب سنج سیلیکان است.در پایان نیز پارامترهای عملکرد شتاب سنج ارائه شده است.