سنتز نانوذرات دی اکسید تیتانیوم و استفاده از آن به عنوان حسگر گازی
چکیده
نانوذرات دی اکسید تیتانیوم به روش های سل-ژل و میکروامولسیون در آزمایشگاه سنتز شدند. نانوذرات توسط طیف نگاری پرتو ایکس (xrd)، میکروسکوپ الکترونی روبشی میدان گسیل (fesem) و طیف جذبی اشعه فرا بنفش-مرئی (uv-vis) مورد مشخصه یابی قرار گرفتند. پیک های حاصل از مشخصه یابی پراش اشعه ایکس تأیید کردند که نانوذرات به دست آمده به طور کامل در حالت فازی آناتاز قرار دارند. اندازه نانوذرات با استفاده از معادله شرر به دست آمد. کوچکترین و یکنواخت ترین نانوذرات (8.5 nm) جهت لایه نشانی بر روی سیلیسیوم آمورف متخلخل انتخاب شدند. فرایند تخلخل با روش آنودی سازی انجام گرفت که محلول الکترولیت از اسید هیدروفلوئوریک و اتانول تشکیل شده بود. سیلیسیوم آمورف متخلخل در نقش آنود و پلاتین به عنوان کاتود در نظر گرفته شد. سیلیسیوم آمورف متخلخل توسط میکروسکوپ الکترونی روبشی مورد تحلیل قرار گرفت. قطر حفرات در محدوده 24 nm تا µm 5 برآورد شد. لایه های نازک ساندویچی نانوساختار al/si/pps/tnps/al توسط سیستم لایه نشانی خلأ (تفنگ الکترونی) در فشار mbar 10-5 در دمای اتاق ساخته شدند و به عنوان حسگر گاز co2 در دماهای مختلف و نور معمولی مورد استفاده قرار گرفت. ویژگی های حسکر گازی و خواص الکتریکی dc در حضور گاز co2 و فقدان گاز مورد بررسی قرار گرفت. لایه نازک al/si/pps/tnps/al حساسیت خوبی را به گاز co2 در مقایسه با لایه نازک al/si/pps/al نشان داد.